石英玻璃的主流厂商Corning、OHARA和Schott,熔融石英材料的光学参数、机械参数和热参数
光学熔融石英的主流品牌有美国的康宁(Corning)、日本的小原(OHARA) 以及德国的肖特(Schott),主要的熔融石英镜片材料型号和标号有国内的JGS1、JGS2、JGS3、康宁7980、小原SK-1300以及肖特BF33等。本文主要介绍JGS1、JGS2、JGS3、7980、SK-1300和BF33光学熔融石英的物理参数、热参数和光学参数,帮助读者了解石英玻璃材料。
以下为JGS1、JGS2、JGS3、7980、SK-1300和BF33熔融石英镜片材料的参数
一、JGS1、JGS2、JGS3石英玻璃
1、机械参数
密度
2.20g/cm3
阿贝常数
67.6
硬度
5.5 - 6.5 莫氏硬度等级 570 KHN 100
设计拉伸强度
4.8x107 Pa
(N/mm2) (7000 psi)
设计抗压强度
大于1.1x109 Pa (160,000 psi)
体积模量
3.7x1010 Pa
(5.3x106 psi)
杨氏模量
3.1x1010 Pa
(4.5x106 psi)
泊松比
0.17
电感应强度
7x107 ohm.cm (350°C)
介电特性(20°C 和 1 MHz)
恒定
强度
损耗因数
耗散因数
3.75
5x107 V/m
小于4x10-4
小于1x10-4
声横波速度
3.75x103 m/s
声波/压缩波速度
5.90x103 m/s
声波衰减
小于 11
db/m MHz
渗透率常数 (cm3mm/cm2
秒厘米汞柱)
氦
氢
氘
氖
(700°C)
210x10-10
21x10-10
17x10-10
9.5x10-17
化学稳定性(氢氟酸除外)
高耐水性和耐酸性
2、热参数
热膨胀系数
5.5x10-7cm/cm.°C
(20°C-320°C)
导热性
1.4 W/m.°C
比热
670 J/kg.°C
软化点
1683°C
退火点
1215°C
应变点
1120°C
3、光学参数
材料型号
JGS1
JGS2
JGS3
最大尺寸
直径<200mm
直径<300mm
直径<200mm
透射范围
(中等透射比率)
0.17~2.10um
(平均透过率>90%)
0.26~2.10um
(平均透过率>85%)
0.185~3.50um
(平均透过率>85%)
OH-含量
1200 ppm
150 ppm
5 ppm
荧光(激发波长254nm)
几乎无荧光
强v-b
强V-B
杂质含量
5 ppm
20-40 ppm
40-50 ppm
双折射常数
2-4 nm/cm
4-6 nm/cm
4-10 nm/cm
熔融方法
合成CVD
氢氧熔融
电气熔融
应用
激光基底:窗口片、透镜、棱镜、镜子...
半导体和高温窗口片
红外线和紫外线衬底
JGS1透过率曲线
JGS2透过率曲线
JGS3透过率曲线
二、美国康宁(Corning) 7980石英玻璃
1、机械参数
注意:除非另有说明,所有数值均为 25 °C 时的值
弹性(杨氏)模量
73 GPa
剪切模量
31 GPa
磨损或磨蚀后的断裂模量
52.4 MPa
体积模量
35.9 GPa
泊松比
0.16
密度
2.20 g/cm3
克努普硬度(100克负载)
522 kg/mm2
拉伸强度
54 MPa
抗压强度
1.14 GPa
2、热参数
玻璃材料编号
7980
粘度
软化点
1585 ˚C
107.6泊
退火点
1042 ˚C
1013泊
应变点
893 ˚C
1014.5泊
比热
0.770 J/(g K)
导热性
1.38 W/(m K)
热扩散率
0.0075 cm2 /s
热膨胀(ppm/C):
5 ˚C to 35 ˚C
0.52 x 10-6
0 ˚C to 200 ˚C
0.57 x 10-6
-100 ˚C to +200 ˚C
0.48 x 10-6
3、光学参数
nF'-nC'
0.006797
应力系数
35.0 nm/cm MPa
阿贝常数:Ve
67.6
阿贝常数:Vd
67.8
宽光谱内部透射率
紫外线内部透过率
折射率和热膨胀系数计算
多项式频散方程常数1 , 22 ˚C
A0
2.104025406E+00
A1
-1.456000330E-04
A2
-9.049135390E-03
A3
8.801830992E-03
A4
8.435237228E-05
A5
1.681656789E-06
A6
-1.675425449E-08
A7
8.326602461E-10
Sellmeier 分散方程常数2 , 22 ˚C
A1
0.68374049400
A2
0.42032361300
A3
0.58502748000
B1
0.00460352869
B2
0.01339688560
B3
64.49327320000
∆n/∆T 分散方程常数3 , 20-25 ˚C
C0
9.390590
C1
0.235290
C2
-1.318560E-03
C3
3.028870E-04
多项式方程: n2=
A0+ A1λ4+ A2λ2+ A3λ-2 + A4λ-4 + A5λ-6 + A6λ-8 + A7λ-10 with λ in
μm
Sellmeier公式: n2-1
= A1λ2/(
λ2 - B1) + A2λ2/( λ2 – B2)
+ A3λ2/( λ2 – B3) with λ in μm
∆n/∆T 等式: ∆n/∆T
[ppm/C] = C0 + C1λ-2 + C2λ-4 + C3λ-6 with λ in μm
上述色散方程与波长范围185~
1129 nm 的 20 个波长的折射率进行了拟合
三、日本小原SK-1300石英玻璃
1、机械参数
物理特性
密度
2.2g/cm3
杨氏模量
72.4 GPa
扭转刚度
30.9 GPa
泊松比
0.17
抗压强度
1.1 GPa
弯曲强度
69 MPa
拉伸强度
55 MPa
维氏硬度
8.8~10.1 GPa
克努普硬度
6.4~7.0 GPa
2、热参数
热膨胀系数
5.5×10-7 1/K
软化点
1600°C
退火点
1160°C
应变点
1060°C
比热(25℃)
0.73 kJ/kg・K
导热率
1.3 W/m・K(25℃)
1.4 W/m・K(100℃)
3、光学参数
光学特性
气泡
0~0.03mm2/100cm3
条纹
单向 A 级(根据 Mil-G-174)
比强度(应变)
10 nm/cm及以下
荧光
不允许(激发波长254nm)
SK-1300熔融石英镜片透过率曲线
四、德国肖特BF33石英玻璃
1、机械参数
密度 ρ
(25摄⽒度时)
2.23 g/cm3
杨氏模量E
(根据标准DIN13316)
64 kN/mm2
泊松比µ
(根据标准DIN13316)
0.2
努普硬度 HK0.1/20 (根据标准DIN ISO9385)
480
弯曲强度(根据 DIN 52292 T 1 标准)
25 MPa
2、热参数
比热容 cp (20 –100 °C)
0.83 kJ/(kg·K)
热导率 λ
(90 °C)
1.2 W/(m·K)
相变点温度 Tg* (根据 ISO 7884)
525 °C
努普硬度 HK0.1/20 (根据标准DIN ISO9385)
480
线性热膨胀系数 (C.T.E.) α(20-300 °C)
3.25 x 10-6 K-1
变形温度
525 °C
退火点(1013 dPas)
560 °C
LITTLETON温度/软化点(107.6 dPas)
820 °C
导热系数 λ(90 °C)
1.2 W/(m·K)
比热容 cp
(20–100 °C)
0.83 kJ/(kg·K)
最高工作温度
短期使用(<10 小时)
500 °C
长期使用(≥ 10 小时)
450 °C
3、光学参数
阿贝值 (ve = (ne – 1) / (nF’ – nC’))
65.41
折射率 (nd)
1.471
色散 (nF – nC)
71.4 x 10-4
应力光弹系数 (K)
4.0 x 10-6 mm2
N-1
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